మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీని అధిక వాక్యూమ్ లేదా అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్‌లో నిర్వహించారు (1 x 10^-8Pa) పర్యావరణం. మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ యొక్క అతి ముఖ్యమైన అంశం దాని తక్కువ నిక్షేపణ రేటు, ఇది సాధారణంగా ఫిల్మ్ గంటకు 3000 nm కంటే తక్కువ రేటుతో ఎపిటాక్సీయల్ పెరుగుదలకు అనుమతిస్తుంది. ఇంత తక్కువ నిక్షేపణ రేటుకు ఇతర నిక్షేపణ పద్ధతుల మాదిరిగానే అదే స్థాయి శుభ్రతను సాధించడానికి తగినంత అధిక వాక్యూమ్ అవసరం.

పైన వివరించిన అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్‌ను తీర్చడానికి, MBE పరికరం (క్నాడ్సెన్ సెల్) శీతలీకరణ పొరను కలిగి ఉంటుంది మరియు గ్రోత్ చాంబర్ యొక్క అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ వాతావరణాన్ని ద్రవ నైట్రోజన్ ప్రసరణ వ్యవస్థను ఉపయోగించి నిర్వహించాలి. ద్రవ నైట్రోజన్ పరికరం యొక్క అంతర్గత ఉష్ణోగ్రతను 77 కెల్విన్ (−196 °C)కి చల్లబరుస్తుంది. తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వాతావరణం వాక్యూమ్‌లోని మలినాలను మరింత తగ్గించగలదు మరియు సన్నని పొరల నిక్షేపణకు మెరుగైన పరిస్థితులను అందిస్తుంది. అందువల్ల, MBE పరికరాలు -196 °C ద్రవ నైట్రోజన్ యొక్క నిరంతర మరియు స్థిరమైన సరఫరాను అందించడానికి అంకితమైన ద్రవ నైట్రోజన్ శీతలీకరణ ప్రసరణ వ్యవస్థ అవసరం.