మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీని అధిక వాక్యూమ్ లేదా అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ (1 x 10⁻⁵)లో నిర్వహించారు.^-8Pa) వాతావరణం. మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ యొక్క అత్యంత ముఖ్యమైన అంశం దాని తక్కువ డిపాజిషన్ రేటు, ఇది సాధారణంగా ఫిల్మ్‌ను గంటకు 3000 nm కంటే తక్కువ రేటుతో ఎపిటాక్సియల్‌గా పెరగడానికి అనుమతిస్తుంది. ఇంత తక్కువ డిపాజిషన్ రేటుకు, ఇతర డిపాజిషన్ పద్ధతుల వలె అదే స్థాయి శుభ్రతను సాధించడానికి తగినంత అధిక వాక్యూమ్ అవసరం.

పైన వివరించిన అత్యధిక శూన్యతను సాధించడానికి, MBE పరికరంలో (క్నుడ్సెన్ సెల్) ఒక శీతలీకరణ పొర ఉంటుంది, మరియు గ్రోత్ ఛాంబర్ యొక్క అత్యధిక శూన్య వాతావరణాన్ని ద్రవ నైట్రోజన్ ప్రసరణ వ్యవస్థను ఉపయోగించి నిర్వహించాలి. ద్రవ నైట్రోజన్ పరికరం యొక్క అంతర్గత ఉష్ణోగ్రతను 77 కెల్విన్ (−196 °C)కు చల్లబరుస్తుంది. ఈ తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వాతావరణం శూన్యంలో మలినాల పరిమాణాన్ని మరింత తగ్గించి, పలుచని పొరల నిక్షేపణకు మెరుగైన పరిస్థితులను అందిస్తుంది. అందువల్ల, MBE పరికరానికి -196 °C ద్రవ నైట్రోజన్‌ను నిరంతరాయంగా మరియు స్థిరంగా సరఫరా చేయడానికి ఒక ప్రత్యేకమైన ద్రవ నైట్రోజన్ శీతలీకరణ ప్రసరణ వ్యవస్థ అవసరం.